臺式全自動三維形貌計量設備

ContourX-500光學輪廓儀快速，非接觸式3D表面計量自動化臺式系統(tǒng)。該系統(tǒng)集成了布魯克自動傾斜光學測頭，可以完成編程并自動測試一定角度范圍內(nèi)的表面特征，并能大程度地減少跟蹤誤差。

ContourX-500滿足計量要求，Z軸分辨率和準確性，并在更小的占地面積內(nèi)提供了布魯克的白光干涉儀（WLI）落地式型號的優(yōu)點。借助其新的USI通用掃描模式，本產(chǎn)品可以輕松地針對各種復雜應用場景定制分析方法。這些場景涵蓋了從加工表面和半導體工藝制程，到眼科和MEMS器件的R＆D表征。

先進的臺式三維形貌計量設備

* 與放大倍率無關的Z軸分辨率

* 自動化功能，包含帶編碼器的XY軸樣品臺、自動測頭傾斜和自動亮度調(diào)整

* 更緊湊的氣動減震臺設計

高性能的測量與分析功能

* 易于使用的界面，可快速準確地獲得結果

* 廣泛的自動化功能，可量身定制測量和分析程序

* 廣泛的濾鏡和分析工具

* 滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標準在內(nèi)的定制化分析報告